ウェハー洗浄ジグの選び方|手動洗浄における判断ポイント
手動洗浄に用いるウェハー洗浄ジグの選び方について、実務上の判断ポイントから整理します。横型・縦型それぞれの特長を踏まえ、条件に応じた考え方を解説します。
手動洗浄に用いるウェハー洗浄ジグの選び方について、実務上の判断ポイントから整理します。横型・縦型それぞれの特長を踏まえ、条件に応じた考え方を解説します。
手動洗浄で用いるウェハー洗浄ジグの選び方について、洗浄条件や汚れの性質から整理し、横型・縦型の使い分けを解説します。
接合技術とレーザー界面制御を組み合わせたレーザー部分転写の原理と特長、用途を整理しています。
ヘテロ集積化の全体像と、接合技術を中心とした基本的な考え方・事例を紹介します。
接合部の強度を評価する代表的な試験方法について、基本的な考え方を紹介します。
シェア試験、引張(プル)試験、ブレード試験など、評価手法の特徴を整理し、
研究開発段階での検討ポイントをまとめています。
表面活性化を利用したガラス-PDMS永久接合の基本的な考え方を解説します。
電界を利用してガラスとシリコンを接合する陽極接合の基本的な考え方を解説します。
一時液相形成を利用するTLP接合の基本的な考え方と特長を解説します。
拡散接合(Diffusion Bonding)の基本的な考え方と特長を解説します。
中間材料を使わずにウェハーを直接接合する「直接接合(Direct Bonding)」について、
基本的な考え方と特徴を紹介します。