2026年1月15日 / 最終更新日時 : 2026年2月8日 KsLABO ヘテロ集積化 中間材料を使わない接合技術|直接接合(Direct Bonding) 中間材料を使わずにウェハーを直接接合する「直接接合(Direct Bonding)」について、 基本的な考え方と特徴を紹介します。