2026年2月17日 / 最終更新日時 : 2026年2月17日 KsLABO ALD ALDがガスセンサの性能を引き上げる ｜ 論文から見る成膜技術の決定的役割 ナノ構造材料を用いたガスセンサにおいて、ALD（原子層堆積法）が感度・検出限界をどのように引き上げるのかを解説。内壁成膜、触媒制御、機能設計としてのALDの決定的役割を紹介します。
2026年2月11日 / 最終更新日時 : 2026年2月11日 KsLABO ALD 原子層堆積法（ALD）のコンフォーマル成膜とその実例 原子層堆積（ALD）は三次元微細構造に対しても全面を均一に被覆できるコンフォーマル成膜性があります。本記事では、ALDが複雑光学構造の全面成膜に不可欠である理由と、実例をもとにその特長を解説します。
