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成膜プロセス

2026年2月8日 / 最終更新日時 : 2026年2月17日 KsLABO ALD

研究開発用ALD反応室にガラス製直管が適している理由

研究開発用途のALDでは小型試料での検証やプロセス可視化が重要です。ガラス製直管反応室は内部観察性に優れ、消耗品運用によるコスト合理性を兼ね備えた研究用途に適した構造です。本記事ではその技術的有効性を解説します。

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