2026年2月17日 / 最終更新日時 : 2026年2月17日 KsLABO ALD ALDがガスセンサの性能を引き上げる ｜ 論文から見る成膜技術の決定的役割 ナノ構造材料を用いたガスセンサにおいて、ALD（原子層堆積法）が感度・検出限界をどのように引き上げるのかを解説。内壁成膜、触媒制御、機能設計としてのALDの決定的役割を紹介します。
2026年2月11日 / 最終更新日時 : 2026年2月11日 KsLABO ALD 原子層堆積法（ALD）のコンフォーマル成膜とその実例 原子層堆積（ALD）は三次元微細構造に対しても全面を均一に被覆できるコンフォーマル成膜性があります。本記事では、ALDが複雑光学構造の全面成膜に不可欠である理由と、実例をもとにその特長を解説します。
2026年2月8日 / 最終更新日時 : 2026年2月17日 KsLABO ALD 研究開発用ALD反応室にガラス製直管が適している理由 研究開発用途のALDでは小型試料での検証やプロセス可視化が重要です。ガラス製直管反応室は内部観察性に優れ、消耗品運用によるコスト合理性を兼ね備えた研究用途に適した構造です。本記事ではその技術的有効性を解説します。
