2026年2月17日 / 最終更新日時 : 2026年2月17日 KsLABO ALD ALDがガスセンサの性能を引き上げる | 論文から見る成膜技術の決定的役割 ナノ構造材料を用いたガスセンサにおいて、ALD(原子層堆積法)が感度・検出限界をどのように引き上げるのかを解説。内壁成膜、触媒制御、機能設計としてのALDの決定的役割を紹介します。