2026年1月17日 / 最終更新日時 : 2026年1月25日 KsLABO ヘテロ集積化 表面活性化による化学結合|ガラス-PDMS 永久接合 表面活性化を利用したガラス-PDMS永久接合の基本的な考え方を解説します。
2026年1月17日 / 最終更新日時 : 2026年1月25日 KsLABO ヘテロ集積化 ガラスとシリコンを接合する技術|陽極接合(Anodic Bonding) 電界を利用してガラスとシリコンを接合する陽極接合の基本的な考え方を解説します。