横型洗浄ジグ(PTFE)

説明

オールPTFE製。液中にねじなどの接続構造がないので、酸・アルカリ洗浄に適しています。円形の容器(ビーカーや結晶皿等)と組み合わせることで、少ない薬液で洗浄できます。一度に5枚まで洗浄できますが、上ウェハーの汚れが下ウェハーに再付着しますので、洗浄力はやや低めです。精密洗浄やリフトオフは1枚ずつ行うか、縦型洗浄ジグを使用してください。