説明
ウェハーをサイドで把持するためのばねです。インコネル製。把持部がウェハより上に出ませんのでウェハー接合に使用できます。厚さの選択が可能です。ベベル加工されたウェハーを把持するにはウェハーの1/2以上の厚さが必要です。
取付方法：M3ねじ×2
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