ブレード試験装置

説明

ウェハーの接合面にブレードを差し込んで、はく離した距離を測定することで接合強度(接合エナジー)を推定します。ブレードを挿入するためには、ウェハー端面にベベル処理がしてある必要があります。はく離距離の測定には顕微鏡が別途必要です。可視光が透過しないウェハでは、赤外線顕微鏡や超音波顕微鏡が必要になります。

適合ウェハ：最大6インチ