内径60mmチャンバー

説明

2インチウェハーが入る大きさのチャンバーです。

バルクヘッドクランプを使用するチャンバーとしては最小サイズです。

上下の蓋として厚さ3.2mmのPCB基板を使用することで、チャンバー外に配線を直接取り出せます。