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直接接合治具

直接接合治具

カテゴリー: ヘテロ集積化, 直接接合
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説明

ウェハーの直接接合の際に位置を合わせる治具です。角度はオリフラの位置で調整します。ウェハの位置は外周合わせになります。

適合ウェハ:4、6インチ

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