ウェハー洗浄ジグの役割と特長｜工程安定化のための治具技術
手動洗浄で用いるウェハー洗浄ジグの選び方について、洗浄条件や汚れの性質から整理し、横型・縦型の使い分けを解説します。
ウェハー洗浄ジグの選び方｜手動洗浄における判断ポイント
手動洗浄に用いるウェハー洗浄ジグの選び方について、実務上の判断ポイントから整理します。横型・縦型それぞれの特長を踏まえ、条件に応じた考え方を解説します。