接合強度試験の基本と評価方法

接合部の強度を評価する代表的な試験方法について、基本的な考え方を紹介します。
シェア試験、引張(プル)試験、ブレード試験など、評価手法の特徴を整理し、
研究開発段階での検討ポイントをまとめています。

ブレード試験装置

ウェハ接合面の剥離評価を行う「ブレード試験装置」の紹介ページです。実績ベースで改良された構成を商品化しつつ、顕微鏡条件に合わせたカスタマイズにも対応。測定代行サービスについてもご案内します。

触覚センサ検査装置

触覚センサの評価装置紹介ページです。自動ステージによる位置制御で触覚センサ出力と比較分力計出力を比較し、位置依存特性や耐久性を評価する装置の設計思想と用途を解説します。

高温センサ評価装置

高温ガス雰囲気中でのセンサ性能評価に対応した研究開発向け評価装置。用途に応じたカスタマイズ設計が可能です。

研究開発用ALD反応室にガラス製直管が適している理由

研究開発用途のALDでは小型試料での検証やプロセス可視化が重要です。ガラス製直管反応室は内部観察性に優れ、消耗品運用によるコスト合理性を兼ね備えた研究用途に適した構造です。本記事ではその技術的有効性を解説します。

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