ヘテロ集積化における接合技術|半導体・先端デバイスの集積化
ヘテロ集積化の全体像と、接合技術を中心とした基本的な考え方・事例を紹介します。
ヘテロ集積化の全体像と、接合技術を中心とした基本的な考え方・事例を紹介します。
ウェハー接合(Wafer Bonding)の役割と代表的な接合方式、それぞれの特徴を一般論として整理しています。
中間材料を使わずにウェハーを直接接合する「直接接合(Direct Bonding)」について、
基本的な考え方と特徴を紹介します。
拡散接合(Diffusion Bonding)の基本的な考え方と特長を解説します。
一時液相形成を利用するTLP接合の基本的な考え方と特長を解説します。
電界を利用してガラスとシリコンを接合する陽極接合の基本的な考え方を解説します。
表面活性化を利用したガラス-PDMS永久接合の基本的な考え方を解説します。
接合部の強度を評価する代表的な試験方法について、基本的な考え方を紹介します。
シェア試験、引張(プル)試験、ブレード試験など、評価手法の特徴を整理し、
研究開発段階での検討ポイントをまとめています。
接合技術とレーザー界面制御を組み合わせたレーザー部分転写の原理と特長、用途を整理しています。
ゼロバランス測定によるハーメチックシールの評価方法を解説。圧力差と力の挙動を利用した気密性評価原理、測定手順、装置設計上のポイントをわかりやすく紹介します。