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接合技術

  • 接合強度試験
     接合強度評価では、接合部にどの方向の力を加えるかによって、いくつかの代表的な試験方法が使い分けられます。中で… 続きを読む: 接合強度試験
  • ガラス-PDMS 永久接合
     ガラスとPDMS(ポリジメチルシロキサン)の永久接合は、マイクロ流体デバイスやバイオチップ、ラボオンチップ(… 続きを読む: ガラス-PDMS 永久接合
  • TLP接合
     TLP接合(Transient Liquid Phase 接合)は、比較的低い温度で接合を行いながら、最終的… 続きを読む: TLP接合
  • 金属拡散接合
     金属拡散接合とは、金属同士を熱と圧力で密着させ、金属原子が少しずつ移動(拡散)することで接合する方法です。は… 続きを読む: 金属拡散接合
  • 直接接合
     直接接合とは、接着剤やはんだなどを使わずに、2枚のウェハーをそのまま貼り合わせる技術です。主にシリコンウェハ… 続きを読む: 直接接合
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