説明
2インチウェハーが入る大きさのチャンバーです。
上下の蓋として厚さ3.2mmのPCB基板を使用することで、チャンバー外に配線を直接取り出せます。
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秘密保持契約（NDA）を前提とした対応が可能です。
初期検討段階の内容でも問題ありませんので、どうぞお気軽にお問い合わせください。
内径60mmチャンバー
価格帯: ¥127,000 – ¥151,000
外部ポート:NW16×4
追加情報
| 材質 | A5052 |
|---|---|
| 厚さ | 20mm, 55mm |
