Description
・ウェハ接合の強度測定用、ブレード試験装置
・6インチ、4インチウェハに対応
・ウェハトレーを交換することで小片ウェハにも対応可能
ウェハの高さを調整して、接合面にブレードを押し込みます。
ブレード先端から接合が剥離した部分までの距離を測ることで、接合強度を測定することができます。
ガラスウェハなど可視光で確認できるときは通常の顕微鏡で距離を測定してください。
シリコンウェハの場合は、ノンドープシリコンなど赤外線を透過しやすいものを使用して、赤外線顕微鏡で測定してください。