ヘテロ集積化とは?
異種材料・MEMS・実装技術を統合する核心技術
ヘテロ集積化における接合技術の役割を
基礎から実装例までわかりやすく解説しています。
ヘテロ集積化で対応可能な技術
接合技術(各方式の特徴・適用領域の比較はこちら)
- 直接接合(Direct Bonding)
- 拡散接合(Diffusion Bonding)
- TLP接合(Transient Liquid Phase Bonding)
- 陽極接合(Anodic Bonding)
- ガラス-PDMS 永久接合
レーザー転写プロセス
評価技術
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秘密保持契約(NDA)を前提とした対応が可能です。
初期検討段階の内容でも問題ありませんので、どうぞお気軽にお問い合わせください。




