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技術内容がより分かりやすく伝わる構成に見直し、プロセス開発や評価事例、技術ブログも順次更新していきます。
ALDがガスセンサの性能を引き上げる ｜ 論文から見る成膜技術の決定的役割
ナノ構造材料を用いたガスセンサにおいて、ALD（原子層堆積法）が感度・検出限界をどのように引き上げるのかを解説。内壁成膜、触媒制御、機能設計としてのALDの決定的役割を紹介します。
原子層堆積法（ALD）のコンフォーマル成膜とその実例
原子層堆積（ALD）は三次元微細構造に対しても全面を均一に被覆できるコンフォーマル成膜性があります。本記事では、ALDが複雑光学構造の全面成膜に不可欠である理由と、実例をもとにその特長を解説します。
研究開発用ALD反応室にガラス製直管が適している理由
研究開発用途のALDでは小型試料での検証やプロセス可視化が重要です。ガラス製直管反応室は内部観察性に優れ、消耗品運用によるコスト合理性を兼ね備えた研究用途に適した構造です。本記事ではその技術的有効性を解説します。
なぜALDは膜厚精度が高いのか｜成膜原理から比較まで
ALD（原子層堆積法）がなぜ膜厚精度に優れているのかを平易に解説。自己終端反応とプロセスウィンドウの関係、熱CVD・パルスCVDとの違い、実装での工夫やポストアニールまで、産業適用視点でまとめています。
高温センサ評価装置
高温ガス雰囲気中でのセンサ性能評価に対応した研究開発向け評価装置。用途に応じたカスタマイズ設計が可能です。
ゼロバランス測定によるハーメチックシール評価｜気密性試験・非破壊評価
ゼロバランス測定によるハーメチックシールの評価方法を解説。圧力差と力の挙動を利用した気密性評価原理、測定手順、装置設計上のポイントをわかりやすく紹介します。
触覚センサ検査装置
触覚センサの評価装置紹介ページです。自動ステージによる位置制御で触覚センサ出力と比較分力計出力を比較し、位置依存特性や耐久性を評価する装置の設計思想と用途を解説します。
ブレード試験装置
ウェハ接合面の剥離評価を行う「ブレード試験装置」の紹介ページです。実績ベースで改良された構成を商品化しつつ、顕微鏡条件に合わせたカスタマイズにも対応。測定代行サービスについてもご案内します。
デバイス評価装置の専用設計｜評価条件に合わせた評価装置設計
評価装置の設計・製作フローを詳しく解説します。一般的事例の紹介も掲載。