高温センサ評価装置

高温環境下における各種センサの性能評価・特性取得を目的とした、研究・開発用途向けの評価装置です。耐熱性・気密性・再現性を重視した設計により、加熱した状態でセンサの出力を測定します。

特長

• 高温対応設計
  高温雰囲気（数百度クラス）での長時間評価に対応。2重の反射板によりチャンバー株への複写を防ぎ、チャンバーの昇温を防止。チャンバー温度を100℃以下に抑えます。
• 高い気密性
  Oリング構造により、反応ガスの漏れを抑制。安全かつ再現性の高い測定が可能です。
• センサを視認可能
  上部ふたのガラス窓から、センサの状態を確認できます。
• 各種ガス導入に対応
  上面から評価ガスを導入可能。研究用途に応じたカスタマイズにも対応します。
• 研究開発向けカスタム対応
  温度条件、ポート数、サイズ変更など、ご要望に応じた設計変更が可能です。

想定用途

• 高温ガスセンサ（半導体式、MEMSセンサ等）の特性評価
• 応答速度・感度・ドリフト評価
• 材料・素子レベルでの耐熱・耐ガス試験
• 大学・研究機関・企業R&Dでの基礎評価

構成・概要

• 400度対応加熱ステージ（カートリッジヒータ式）
• ガス導入ポート（側面）
• 観察・計測用ガラス窓
• ハンドリング用取っ手付き本体
• センサーの出力は下部のPCB基板を介して出力

※詳細寸法・仕様は用途に応じて設計します。

お問い合わせ

• センサからの配線取り出しは、個別に専用設計になります。
• センササイズ・固定方法の最適化
• ガス導入・排気構成の変更

目的に応じた設計が可能です。まずはお気軽にご相談ください。

デバイス評価装置設計の流れについては、
以下のページでまとめています。
→ デバイス評価装置の専用設計（全体像はこちら）