MICROMACHINING ＆ MEMS 機械加工技術から半導体製造技術まで 最適な微細加工技術をご提案します 超高速・小形気体軸受 精密加工技術を駆使して圧倒的な超高速回転を実現します。気体軸受は全て個別に専用設計となります。 デバイス作成支援 各種MEMSデバイス開発、特に、ALDプロセスとヘテロ集積化の実績多数。 測定機器・真空機器・プロセス用治具類 実際のプロセス・評価作業に基づいた確かな技術で、定形品から特注品までご用意いたします。 気体軸受技術 ―設計・製作と運転のテクニック― 現在、紀伊國屋書店 Kinoppyにて電子書籍版が販売中です。 フォイル軸受、慣性気体軸受について解説されています。気体軸受でお困りの方、ご興味を持たれた方、ご一読いただけますと幸いです。
